Производитель в Москве создал установку для маркировки в микроэлектронной промышленности

Специалисты столичной компании «Лазеры и аппаратура» разработали установку для лазерной маркировки и микрообработки полупроводниковых пластин, которые используются для создания микросхем. Об этом журналистам рассказали накануне в столичном департаменте инвестиционной и промышленной политики. Там отметили, что данное решение будет весьма актуально для производителей микроэлектроники. За час такая установка способна обработать более 100 полупроводниковых пластин из кремния, карбида кремния, арсенида галлия.

Загрузка и выгрузка пластин в зону маркировки происходит при помощи пневматического робота. Такой подход, как отмечают разработчики, позволяет полностью исключить механические повреждения изделий. Позиционирование и фиксация пластины также происходит автоматически без касания поверхности рабочего стола. Возврат обработанного изделия в в робот-перегрузчик происходит за счёт пневмоподброса.

Программный модуль установки позволяет автоматически пересчитывать количество пластин в подающей и принимающей кассетах, устанавливать технологические параметры маркировки, управлять режимом работы лазера.